Mira Rotatorja tal-metall
Kampi manjetiċi u elettriċi ortogonali huma applikati bejn il-mira ta 'sputtering (katodu) u l-anodu.U imla l-gass inert meħtieġ (ġeneralment gass Ar) fil-kamra tal-vakwu għoli.Taħt l-azzjoni ta 'kamp elettriku, il-gass Ar huwa jonizzat f'joni pożittivi u elettroni.Ċertu vultaġġ għoli negattiv jiġi applikat għall-mira, l-elettroni emessi mill-mira huma affettwati mill-kamp manjetiku, il-probabbiltà ta 'jonizzazzjoni tal-gass tax-xogħol tiżdied, plażma ta' densità għolja hija ffurmata ħdejn il-katodu, u l-joni Ar huma affettwati mill-forza Lorentz.Imbagħad taċċellera biex ittir lejn il-wiċċ fil-mira, u bbumbardja l-wiċċ fil-mira b'veloċità għolja, sabiex l-atomi sputtered fuq il-mira jsegwu l-prinċipju tal-konverżjoni tal-momentum, itiru mill-wiċċ fil-mira għas-sottostrat, u jiddepożitaw film ta 'enerġija kinetika għolja.
Sabiex tittejjeb aktar ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjal fil-mira, katodu li jdur b'effiċjenza ta' użu ogħla huwa ddisinjat, u materjal ta 'mira tubulari jintuża għall-kisi sputtering.It-titjib tat-tagħmir ta 'sputtering jeħtieġ li l-mira tinbidel minn forma ċatta għal forma tubulari, u r-rata ta' utilizzazzjoni tal-mira li ddur tubulari tista 'tkun għolja sa 70%, li fil-biċċa l-kbira ssolvi l-problema ta' utilizzazzjoni baxxa tal-mira ċatta.
Isem tal-prodotti | Mira rotatorja tal-metall |
Materjal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Daqs tal-bejgħ sħun | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Jista 'jiġi pproċessat ukoll skont ir-rekwiżiti speċifiċi tal-klijenti |
MOQ | 3 biċċiet |
Pakkett | Kaxxa tal-injam tal-ħxuna |
Applikazzjoni
Kisi sputtering huwa tip ġdid ta 'metodu ta' kisi tal-fwar fiżiku.Meta mqabbel mal-metodu tal-kisi tal-evaporazzjoni, għandu vantaġġi ovvji
f'ħafna aspetti.Miri tal-metall sputtering intużaw f'ħafna oqsma.L-applikazzjoni ewlenija tal-mira li ddur.
■Ċelloli solari
■Ħġieġ arkitettoniku
■Ħġieġ awtomatiku
■Semikondutturi
■TV bi skrin ċatt, eċċ
Informazzjoni dwar l-Ordni
Inkjesti u ordnijiet għandhom jinkludu l-informazzjoni li ġejja:
☑Speċifikazzjoni tal-mira ID×OD×L (mm).
☑Kwantità meħtieġa.
☑Jekk jogħġbok ikkuntattjana għal aktar bżonnijiet speċjali.